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电子晶圆超纯水设备漏水的解决方法

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发表于 2020-2-13 16:27:47 | 显示全部楼层 |阅读模式
  电子晶圆超纯水设备使用过程中,有时会发现超纯水设备出现了漏水的状况,很多人都不是特别的注意,认为是小问题,但是小问题慢慢的发展就会变成大的问题,漏水也要引起我们的注意,下面来介绍一下电子晶圆超纯水设备漏水了怎么办?
  1、开通电源,注入水,看看究竟是哪里漏水。
  2、检查管路是否存在漏水点。针对这个故障检查该设备的水路,查找漏水点。若不易查找,可用干燥的面巾纸检测。
  3、看看设备内部零部件是不是上锈或者螺丝松动而造成的漏水现象。
  以上就是对于电子晶圆超纯水设备漏水的原因介绍,希望对大家有所帮助,出现了问题就可以按照上述的方法来处理一下,及时的解决问题,不要影响设备以后的使用。

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